析出性能

低污染物析出率

SEMI F57-0622(85℃) 试验方法

< 预清洁 > 按照SEMI F40标准
< 试验方法 >
  • 测试样品采购自市场，试验以及分析均由外部第三方实验室完成。
  • 清洁管(CLVP) 和普通PVC (VP)的测试条件非常严格，测试温度高于其软化温度。

污染物析出率低

SEMI F57-0622 (85℃) 静态析出试验结果

・红色字体: 析出率超过SEMI上限的元素参数。

[μg/m2]
分析内容 SEMI F57-0622
上限		 积水 日本JIS K6741
PVDF-UHP
(PVDF)		 洁净管
(CLVP)		 普通VP
(VP)
最大使用温度 100℃ 60℃ 60℃
测试温度 85℃ 85℃ 85℃
测试样品尺寸 25A 50A 50A
金
属		 锰 Mn ≦5 <0.1 0.1 4.1
铅 Pb ≦1 <0.1 <0.1 110
铝 Al ≦5 2.6 18 20
钙 Ca ≦10 5.8 32 63,000
铬 Cr ≦1 <0.1 <0.1 <0.1
铜 Cu ≦10 0.3 <0.1 1.5
铁 Fe ≦5 3.4 7.4 8.9
钾 K ≦10 0.5 0.8 8.3
锂 Li ≦2 <0.1 <0.1 <0.1
镁 Mg ≦2 0.7 1.7 350
钠 Na ≦10 2.7 7.1 8.1
镍 Ni ≦1 0.1 <0.1 7.6
锌 Zn ≦5 0.4 0.4 12
硼 B ≦30 3.0 14 1.3
金属总量 ≦97 20 82 63,532
有机物总量 TOC ≦40000 26,000 37,000 18,000
  • CLVP和VP的最高操作(使用)温度为60℃, 因此试验数值是在超出两者热稳定性的温度下得出的结果。

SEMI F57-0622(25℃) 静态析出试验结果

・红色字体: 析出率超过SEMI上限的元素参数。

[μg/m2]
分析内容 SEMI F57-0622
上限		 积水
洁净管
(CLVP)
最大使用温度 60℃
测试温度 85℃
测试样品尺寸 50A
金
属		 锰 Mn ≦5 <0.1
铅 Pb ≦1 <0.1
铝 Al ≦5 0.4
钙 Ca ≦10 7
铬 Cr ≦1 <0.1
铜 Cu ≦10 <0.1
铁 Fe ≦5 <0.1
钾 K ≦10 <0.1
锂 Li ≦2 <0.1
镁 Mg ≦2 <0.1
钠 Na ≦10 0.2
镍 Ni ≦1 <0.1
锌 Zn ≦5 <0.1
硼 B ≦30 <0.1
金属总量 ≦97 9
有机物总量 TOC ≦40000 660
  • 测试结果仅适用于测试温度为25℃的情况,其他测试条件符合SEMI F57-0622 标准。

颗粒物净化性能

试验方法

样  品：
CLVP25A 管长1000mm(见图)
测试温度：
23℃
冲洗方式：
注入200ml超纯水,振动16小时(振幅 1Hz)
测量步骤：
(未冲洗时)测量密封于样品中的200ml超纯水
→冲洗1次后测量→冲洗2次后测量
测量方法：
测量颗粒物(粒径≥0.5μm),
粒子计数器(RION) KL-11A、传感器(RION) KS-28

试验结果

  • 对未冲洗管材内面附着颗粒的可释放性进行比较。